分子泵的接口選擇的小技巧

關(guān)鍵詞：分子泵，渦輪分子泵，分子泵組

分子泵是大多數(shù)物理、半導(dǎo)體、材料、生化等實(shí)驗(yàn)室的常備設(shè)備，配合前級(jí)泵，如：隔膜真空泵、旋片真空泵等，主要目的是產(chǎn)出高真空應(yīng)用于適合的場(chǎng)合。

市場(chǎng)上的分子泵基本都能達(dá)到E-8mbar真空度以上，但是其型號(hào)又分了很多種接口對(duì)應(yīng)不通的真空度。究竟是分子泵的性能不夠還是接口的密封性的影響呢？其實(shí)大多分子泵的性能是完全可以滿足E-8mbar真空度，型號(hào)不同主要還是針對(duì)接口密封性。

CF接口的，銅密封分子泵，密封度的真空可以達(dá)到E-10mbar以上。CF接口，對(duì)于分子泵的性能是有要求的。

LF接口的，密封分子泵，密封度的真空通常在E-8mbar。其和分子泵的性能關(guān)系要求不高，主要是LF接口的密封度就在E-8mbar。

ISO-K/KF接口的，密封分子泵，密封度的真空通常在E-7mbar。其和分子泵的性能關(guān)系要求也不高，主要是接口的密封度就在E-7mbar。

因此，以上接口的條件，實(shí)際上就是選擇性價(jià)比高的分子泵的一個(gè)很好的參考指標(biāo)。因地制宜的選擇適合實(shí)驗(yàn)室的分子泵組。