分子泵DVM系列及分子泵前級(jí)泵DVT/DVW/DVR系列的常用應(yīng)用選型簡介

型號(hào)

DVM80

DVM150

DVM300

DVM700

抽氣速度 L/s

Ar: 62

N₂ : 63

Ar: 140

N₂ : 145

Ar: 255

N₂ : 260

Ar: 680

N₂ : 685

極限真空 mbar

5×10^-9

2×10^-9

2×10^-9

2×10^-9

進(jìn)氣連接

DN63CF

(KF)

DN100CF

(KF)

DN100CF

(KF)

DN160CF

(KF)

排氣連接

DN16KF

DN25KF

DN25KF

DN40KF

軸承形式

精密脂潤滑陶瓷軸承

**轉(zhuǎn)速 rpm

72000

51000

51000

36000

啟動(dòng)時(shí)間 min

< 2.0

< 2.0

< 3.5

< 5.0

振動(dòng) um

< 0.05

< 0.1

噪音 dB(A)

< 55

建議啟動(dòng)真空度

< 1 mbar

安裝方式

任意角度安裝

烘烤溫度 ℃

< 100

冷卻方式

風(fēng)冷/水冷

水冷

水冷接口

內(nèi)徑10mm軟管連接

重量 kg

3.5

8.6

11.0

24.5

使用

環(huán)境

真空泵

類型

型號(hào)

泵的極限真空度

(1mbar=100Pa)

泵的

抽氣量

腔體容積

少量

腐蝕性氣體

干式抗腐蝕螺旋

真空泵

DVT0150pro/DVT0150

0.1 mbar

48 L/min

1-80 L

DVT01100pro/DVT01100

0.1 mbar

96 L/min

50-150 L

DVT01200pro

0.1 mbar

192 L/min

100-250 L

DVT01300pro

0.1 mbar

288 L/min

200-400 L

潔凈

氣體

干式

非抗腐蝕

螺旋

真空泵

DVW0150

0.1 mbar

48 L/min

1-80 L

DVW01100

0.1 mbar

96 L/min

50-150 L

DVW01200

0.1 mbar

192 L/min

100-250 L

DVW01300

0.1 mbar

288 L/min

200-400 L

綜合

環(huán)境

旋片真空泵(油泵）

DVR4Z/DVR4Zeco

0.002 mbar

67 L/min

1-80 L

DVR8Z/DVR8Zeco

0.002 mbar

133 L/min

50-200 L

DVR16Z/DVR16Zeco

0.002 mbar

267 L/min

200-400 L

DVR24Z/DVR24Zeco

0.002 mbar

400 L/min

300-700 L