分子泵的前級(jí)泵如何選擇最合適？

關(guān)鍵詞：分子泵，隔膜真空泵，干式抗化學(xué)腐蝕螺旋真空泵，螺桿真空泵，兩級(jí)旋片真空泵，渦卷式真空泵

分子泵也是實(shí)驗(yàn)室常用的真空獲得設(shè)備之一，由于分子泵不能常壓下啟動(dòng)，因此需要配置前級(jí)泵來組合使用。分子泵組成為物理、半導(dǎo)體、物化、化學(xué)等實(shí)驗(yàn)室的常備設(shè)備，怎樣配置一臺(tái)合理的分子泵的前級(jí)泵呢？

分子泵的前級(jí)泵的選擇，首先是要選擇真空度小于10mbar以下的真空泵，再根據(jù)抽吸腔體的大小來選擇。

通常腔體容積5L以下，選擇隔膜真空泵或者干式螺旋泵，抽氣量1-8m3/h，真空度選擇越高越好；腔體容積5L-20L，選擇兩級(jí)旋片真空泵或者渦卷式真空泵為主，抽氣量6-30m3/h，真空度選擇越高越好；腔體容積>20L，選擇螺桿真空泵或者兩級(jí)旋片真空泵/渦卷式真空泵的多臺(tái)組合泵組。

根據(jù)抽吸氣體其否含有一定量的腐蝕性氣體，可選擇相對(duì)應(yīng)的耐腐能力更強(qiáng)的型號(hào)。

總之，選擇抽氣量更大、真空度更高的前級(jí)泵，對(duì)腔體內(nèi)的極限真空度獲得是有幫助的，但是也要考慮經(jīng)濟(jì)性原則。

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