DVM80渦輪分子泵
DVM渦輪分子泵非常適合應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室對(duì)超高真空的需求。分子泵采用精密脂潤(rùn)滑陶瓷軸承，免維護(hù)時(shí)間遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于采用油潤(rùn)滑軸承分子泵，相比油潤(rùn)滑軸承分子泵，其更適合潔凈氣體的抽吸。
主要應(yīng)用場(chǎng)景：
1. 適合抽吸潔凈氣體、少量水蒸氣、微量腐蝕性氣體
2. 適合應(yīng)用于物理、半導(dǎo)體領(lǐng)域的配套裝置，如：PVD、PLD、MBE、CVD、同步輻射
3. 適合配套實(shí)驗(yàn)室深冷研究裝置
4. 適合配套分析實(shí)驗(yàn)裝置，如：電鏡、質(zhì)譜、生物質(zhì)譜分析裝置
5. 適合配套超高真空提取SAFE裝置
主要特點(diǎn)：
1. DVM分子泵采用KF真空接口模塊，極限真空可達(dá)5×10-7mbar（自適應(yīng)中等轉(zhuǎn)速，取決于系統(tǒng)密封性）
2. DVM分子泵采用CF真空接口模塊，極限真空可達(dá)2×10-9mbar (極限真空取決于接口密封形式，非分子泵的性能指標(biāo)；自適應(yīng)到最高轉(zhuǎn)速，取決于系統(tǒng)密封性）
3. 分子泵前級(jí)泵（要求小于5mbar）可選：干式隔膜真空泵、干式變頻渦卷式真空泵、干式螺旋真空泵、干式螺桿真空泵、旋片真空泵（油泵）等
型號(hào) | DVM80 | DVM150 | DVM300 | DVM600 | DVM700 | DVM1300 | DVM2000 |
抽氣速度 L/s | Ar: 63 N2 : 64 | Ar: 141 N2 : 146 | Ar: 256 N2 : 261 | Ar: 625 N2 : 630 | Ar: 681 N2 : 686 | Ar: 1280 N2 : 1285 | Ar: 1950 N2 : 1955 |
極限真空 mbar | 5×10-9 | 2×10-9 | 2×10-9 | 2×10-9 | 2×10-9 | 8×10-10 | 8×10-10 |
進(jìn)氣連接 | DN63CF (KF、ISO) | DN100CF (KF、ISO) | DN100CF (KF、ISO) | DN150CF (KF、ISO) | DN160CF (KF、ISO) | DN160CF (KF、ISO) | DN250CF (KF、ISO) |
排氣連接 | DN16KF | DN25KF | DN25KF | DN40KF | DN40KF | DN40KF | DN50KF |
軸承形式 | 精密脂潤(rùn)滑陶瓷軸承 |
**轉(zhuǎn)速 rpm | 70000 | 50000 | 50000 | 24000 | 36000 | 24000 | 24000 |
啟動(dòng)時(shí)間 min | < 2.0 | < 2.0 | < 3.5 | < 5.0 |
振動(dòng) um | < 0.05 | < 0.1 |
噪音 dB(A) | < 55 | < 56 |
建議啟動(dòng)真空度 | < 2 mbar （最低要求 < 5 mbar） |
安裝方式 | 任意角度安裝 |
烘烤溫度 ℃ | < 100 |
冷卻方式 | 風(fēng)冷或者水冷 | 水冷 |
重量 kg | 3.6 | 8.6 | 11.0 | 30.0 | 25.0 | 27.0 | 35.0 |
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