該套分子泵組為實(shí)驗(yàn)室分子泵組常規(guī)配制型號(hào)：由分子泵DVM80、前級(jí)泵干式隔膜真空泵DVC278、皮拉尼數(shù)字顯示真空計(jì)DVI-109組成。
分子泵組DVMS系列
分子泵組由中高真空獲得設(shè)備前級(jí)泵和高真空渦輪分子泵組合而成。
主要應(yīng)用場(chǎng)景：
1. 適合抽吸潔凈氣體、少量水蒸氣、微量腐蝕性氣體
2. 適合應(yīng)用于物理、半導(dǎo)體領(lǐng)域的配套裝置，如：PVD、PLD、MBE、CVD、同步輻射
3. 適合配套實(shí)驗(yàn)室深冷研究裝置
4. 適合配套分析實(shí)驗(yàn)裝置，如：電鏡、質(zhì)譜、生物質(zhì)譜分析裝置
5. 適合配套超高真空提取SAFE裝置
主要特點(diǎn)：
1. DVMS泵組采用KF真空接口模塊，極限真空可達(dá)5×10-7mbar（自適應(yīng)中等轉(zhuǎn)速，取決于系統(tǒng)密封性）
2. DVMS泵組采用CF真空接口模塊，極限真空可達(dá)2×10-9mbar (極限真空取決于接口密封形式，非分子泵的性能指標(biāo)；自適應(yīng)到最高轉(zhuǎn)速，取決于系統(tǒng)密封性）
3. 分子泵前級(jí)泵（要求小于5mbar）可選：干式隔膜真空泵、干式變頻渦卷式真空泵、干式螺旋真空泵、干式螺桿真空泵、旋片真空泵（油泵）等
4. 分子泵與前級(jí)泵之間配套止回閥，密封泵送系統(tǒng)，運(yùn)行安全
5. 分子泵與前級(jí)泵之間配套皮拉尼數(shù)字顯示真空計(jì)（測(cè)量范圍10-3mbar 到常壓），數(shù)顯提醒分子泵啟動(dòng)/關(guān)閉時(shí)的真空度，更利于操作人員使用
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